有機廢氣催化劑采用低溫催化燃燒法，先通過熱交換器預熱到200~400℃，再進入燃燒室，通過催化劑床時，碳氫化合物的分子和混合氣體中的氧分子分別被吸附在催化劑的表明而活化。由于表面吸附降低了反應的活化能，碳氫碳氫化合物與氧分子在較低的溫度下迅速氧化，產生二氧化碳和水。和直接燃燒法相比，溫度低、節(jié)能、凈化率高、操作方便。但是催化劑易中毒、不耐高溫，而且投資較大。適用于高溫或高濃度的有機廢氣。

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